石墨舟的預熱及預處理方法
2019年11月07日
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石墨舟
石墨舟在工業上的應用十分廣泛,很多人不知道該怎么使用石墨舟,特別是在預熱和預處理時該怎么做,所以小編收集了一些知識要點供大家參考的:
石墨舟的預熱
1.烘干后的石墨舟由生產、工藝、設備檢查無損壞后,一起將石墨舟進行預熱。
2.預熱時石墨舟內不放硅片,將需要預熱的舟放入空閑的爐管,此爐管不進行工藝,只要手動把真空泵的閥門打開就行了。
石墨舟的預處理(鍍舟)
將空的石墨舟由生產、工藝、設備確認無異常之后,把石墨舟放進爐管開始進行預處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的生產工藝都一樣,但到“淀積”那一步時將工藝保持一個小時,然后再進行下面的步驟,等到工藝結束,石墨舟從爐管內出來之后,經工藝人員確認之后,這個石墨舟就可以正常使用了。
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